在半导体、生物医药、高端电子制造等高精尖产业快速发展的背景下，超洁净流体输送与污染物控制已成为核心技术瓶颈，相关装备与材料的标准化、规范化，直接决定高端制造的稳定性与可靠性。
由中国液压气动密封件工业协会与机械工业出版社联合主办，《液压气动与密封》杂志协办，汇聚众多国内顶尖专家、学者的《机工科技?2026 年液气密系列直播课》迎来第9期直播。
本期讲座特邀浙江启尔机电技术有限公司杨军高级工程师，一次性详解《超洁净磁悬浮泵》、《超洁净气动波纹管泵》及《半导体超纯聚合物过流部件污染物检测及表面粗糙度技术要求》 团体标准的背景意义和主要内容，为行业提供权威、系统、可落地的标准指引。
机工科技·2026年液气密系列直播课 第9期
《超洁净磁悬浮泵》
《超洁净气动波纹管泵》
及《半导体超纯聚合物过流部件污染物检测及表面粗糙度技术要求》
团标宣贯
01 课程简介
Course Introduction
课程讲师：杨 军
浙江启尔机电技术有限公司
高级工程师
课程名称：
《超洁净磁悬浮泵》、《超洁净气动波纹管泵》及《半导体超纯聚合物过流部件污染物检测及表面粗糙度技术要求》 团体标准的背景意义和主要内容
课程时间：
2026年5月14日 20:00 开播
课程时长约 67分钟
直播平台：
中国液压气动密封件工业协会视频号
《液压气动与密封》杂志视频号
02 核心内容
Core Content
本次课程围绕三项超洁净流体核心团标展开权威宣贯，内容覆盖背景、条款、检测与应用，全程紧贴半导体产业实际需求：
三项团标的背景意义
解读浸没式光刻、湿法清洗、刻蚀等 IC 制程对超洁净流控零部件的刚需，点明国产替代紧迫性；
说明当前国内超洁净泵、超纯聚合物部件缺乏统一标准，产业亟需规范；
介绍浙江启尔机电牵头制定标准的技术实力与行业使命，明确三项团标对规范产品、推动国产化、保障产业链自主可控的重要价值。
三项团标的核心内容
《超洁净磁悬浮泵》（T/CHPSA YY003—2024）：规范产品结构、型号参数、基本要求、材料选型、性能指标、耐压与污染物控制、试验方法、检验规则及包装贮存，明确超洁净、无泄漏、长寿命设计要求。
《超洁净气动波纹管泵》（T/CHPSA YY004—2024）：规定结构组成、流量 / 噪声 / 吸上高度等性能要求、材料与焊接规范、污染物控制、试验与检验要求，保障半导体工况稳定可靠。
《半导体超纯聚合物过流部件污染物检测及表面粗糙度技术要求》（T/CHPSA YY005—2024）：明确离子、金属、TOC、颗粒物四大污染物检测方法与限值，规范表面粗糙度要求、检测环境、设备、流程及报告格式，为超洁净部件质量判定提供统一依据。
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5月14日 晚8点
直播间不见不散
课程共建征集
Course co-construction
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参与方式
请电话或微信联系中国液压气动密封件工业协会副秘书长饶涛先生，沟通对接相关事宜。
联 系 人：
饶涛
中国液压气动密封件工业协会
副秘书长
联系电话：
13601275881 (同微信)
来源：中国液压气动密封件工业协会
编辑：李享
初审：王彩英
复审：刘伟林
终审：赵曼琳
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